2016年12月13日

希釈冷凍機 導波路 13 「フランジ部のリーク試験」

今日はフランジ部のリーク試験です。

以前同じようなケーブルを入れた時に、フランジ部からリークが見つかり全分解という痛い思いをしました。今回は同じ轍を踏まないように、フランジ部を徹底的に試験します。

下の写真は加工済みKF40フランジにSMAバルクヘッドスルーを6つ装着したものをリーク検出器(Leybold UL200)で試験しています。
CIMG9041s
(クリックして拡大)

質量分析計のついた小型のターボ分子ポンプでヘリウムを検出します。今回バックグラウンドの検出レートは 10^(-10) mbar littler /s = (cc atm / s)でした(実はリーク検出器の直上のOリングが最近痛み気味で漏れています)。SMAバルクヘッド部分にヘリウムガスを吹きかけてリークの様子を検出します。加工済フランジは3つあったのですが、二つは1~2 x 10^(-8) cc atm /s 程度でした。もう一つは軽く10^(-7)を超えて激しくリークを示してしまいました。

下は分解して綺麗にクリーニングしている様子です。スレッド部の金属片がOリングにでもついていたのでしょう。キプワイプからベンコットに替えてアルコールで丁寧に掃除します。
CIMG9034s
(クリックして拡大)

綺麗になったSMAバルクヘッド部。
CIMG9036s
(クリックして拡大)

最終的に全て1〜2 x 10^(-8) cc atm /s 程度に収まりました。このバルクヘッドのHermeticityはMIL-PRF-39012 に規定されており、おおむね10^(-8)台です。今回は6ポートで10^(-8)程度でしたので、1ポートあたりは10^(-9) cc atm /s 台だろうと考えました(一つだけ大きなリーク量を持つものがある場合もありますが、今回は許容範囲内とします)。これで、一安心です。

jjq303dev at 23:30│Comments(0)冷凍機 

コメントする

名前
 
  絵文字
 
 
プロフィール
日々徒然過ごしている研究員。

趣味は星、自転車、コーヒー。